NF₃ 用 0.1ppm 分解能と電気化学センサーを備えた固定ガス検知器 – Ex d IIC T6 Gb 認証取得

産業環境における三フッ化窒素 (NF₃) を監視するために特別に設計された、専門的な固定ガス検出システム。

のYT-95Hシリーズは、酸素、可燃性ガス、有毒ガスを継続的に監視するために設計された、コスト効率の高い防爆固定固定ガス発信器です。統合します3線式4-20mA、RS485 Modbusそしてリレー出力、ほとんどの制御システム (PLC、DCS、SCADA) と互換性があります。リレーは、ホーン、警報灯、ファンなどの外部デバイスを直接制御できます。

のためにNF₃ (三フッ化窒素)半導体製造やプラズマエッチングで広く使用される有毒ガスのモニタリング - YT-95H は、電気化学センサー測定範囲は0 ～ 50 ppm または 0 ～ 100 ppm(選択可能) と0.1ppmの分解能。

• NF₃用電気化学センサー– 0 ～ 50/100ppm 範囲、0.1ppm 分解能、高速応答 (T90 ≤20s)。
• 複数の出力– 3 線式 4 ～ 20mA、RS485 Modbus、リレー (外部アラーム/ファンを制御)。
• オプションの音/光アラーム– >90dB、ユーザー調整可能な設定値。
• 赤外線リモコン– アラームポイントの非侵入型調整、ゼロ校正、アドレス変更。
• 堅牢かつ防爆– ダイカストアルミニウムハウジング、IP65、危険区域用の Ex d IIC T6 Gb。
• オプションのワイヤレス– リモート データ アクセス用の LoRa または 4G。
• メンテナンスの手間がかからない– 再現性 ≤ ±1%、年間ゼロシフト ≤ ±1%。
• 簡単な取り付け– G1/2 雄ネジ、M45*2mm ネジサイズ、12-36V DC 電源。

三フッ化窒素 (NF₃) は、無色の有毒で安定したガスで、半導体、フラット パネル ディスプレイ、太陽電池製造のプラズマ プロセスにおけるチャンバー洗浄剤およびエッチャントとしてエレクトロニクス産業で広く使用されています。 NF₃ はオゾン層を破壊するものではありませんが、地球温暖化係数が高い強力な温室効果ガスです。高濃度に曝露するとメトヘモグロビンの生成を引き起こし、肝臓や腎臓に影響を与える可能性があります。作業者と環境を保護するには、信頼性の高い検出が不可欠です。

• 半導体製造– NF₃ はチャンバーのクリーニングとプラズマ エッチングに使用されます。
• フラットパネルディスプレイと太陽電池の製造– フッ素系エッチング液としての NF₃。
• 化学工業– 保管エリアおよび取り扱いエリアでの NF₃ 漏れの監視。
• エレクトロニクス製造– クリーンルームでのプロセスガスの監視。
• 研究所– NF₃ が使用される場合の有毒ガスの検出。

1. 1. YT-95H の NF₃ 検出精度はどれくらいですか?
   ≤ ±2% FS (特定のセンサーによって異なります)。

2. 2. 応答時間 (T90) はどれくらいですか?
   20秒以内。

3. 3. センサーはどれくらいの頻度でドリフトしますか?
   ゼロシフト ≤ ±1% FS/年。

4. 4. 検出器はどのような出力信号を提供しますか?
   3 線 4 ～ 20mA アナログ、RS485 Modbus、リレー出力。

5. 5. 筐体を開けずにアラーム設定値を調整できますか?
   はい。警報点の設定、ゼロ校正、アドレス変更には付属の赤外線リモコンを使用します。

6. 6. オプションの音/光アラームはありますか?
   はい。ユーザーが設定可能なアラームポイントを備えたオプションの音/光アラーム (>90dB)。

7. 7. 防爆等級は何ですか?
   Ex d IIC T6 Gb (ゾーン 1 およびゾーン 2 の危険区域に適しています)。

8. 8. 保護等級は何ですか?
   IP65 – 防水、防塵、防爆。

9. 9. データをリモートで監視できますか?
   はい。オプションの LoRa または 4G ワイヤレス伝送により、ラップトップまたは携帯電話でリモート データを表示できます。

10. 10. どのような電源が必要ですか?
    DC12～36V。

深セン YuanTe Technology Co., Ltd. (Safegas)– 2010 年に設立された、ガス検知装置およびシステムの研究開発、生産、販売を専門とする国家的ハイテク企業です。 16 年以上の経験を持つ同社は、半導体、石油・ガス、化学、環境、産業分野にサービスを提供しています。製品は ISO9001 および ISO45001 の認証を取得しており、IECEx、ATEX、および EMC 認証を取得しています。年間生産能力は8万台を超える。短納期 (5 ～ 7 営業日) と 24 時間年中無休のアフターサポートがご利用いただけます。

• 2010年設立– ガス検知器の研究開発と製造において 16 年以上の経験。
• 全製品範囲– ポータブル検出器、固定送信機、分析装置、制御パネル、付属品。
• 国際認証– 危険区域に対する IECEx、ATEX、EMC 認定。
• ガスと産業を幅広くカバー– 何百ものガス;石油とガス、化学、鉱業、環境、食品、製薬などにサービスを提供します。
• 強力な研究開発と品質– ISO9001およびISO45001の認証を取得。専門的な研究開発チームとグローバルなサービスネットワーク。
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